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溅射靶材

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,简称PVD)是一种能在基材表面沉积一层功能涂层的技术,包括真空蒸镀、溅射、离子镀、离子注入等技术。磁控溅射是一种高速低温溅射技术,工作气压约为0.1Pa,溅射电压几百伏特,靶电流密度达几十毫安,沉积速率达几百-2000nm/min。这种PVD技术有利于大量生产,膜层成分稳定,沉积速度快,膜层结合力优异,对基材影响小。

溅射靶材是磁控溅射工艺中,高速荷能粒子轰击的目标材料, 是在基板上形成各种功能薄膜的材料源。


产品主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;应用新型于电接触材料、耐磨材料、高温耐蚀材料、玻璃镀膜、人工宝石等领域。

 
靶材种类
 

金靶材、金银合金靶材、金镍合金靶材、其他金合金靶材;

银靶材、银铜合金靶材、其他银合金靶材;

铂靶材、铂镍合金靶材、其他铂合金靶材;

钯靶材、钯银合金靶材、其他钯合金靶材;

钛靶材;

镍靶材;

硅靶材;

钨靶材;

钼靶材;

五氧化二钽靶材、五氧化二铌靶材、钛酸锶靶材、钛酸钡靶材、氧化锡(混铂、钯)靶材等。

 
靶材技术要求
 

成份:根据客户要求;

材料纯度:根据客户要求;

形状尺寸:根据客户要求。

 
 
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