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蒸发材料

真空蒸发镀膜是物理气相沉积的一种,在真空或特殊气氛条件下,用蒸发器加热蒸发材料使之汽化,蒸发粒子流直接射向基板并在基板上沉积形成固态薄膜的技术。蒸发材料是基片上薄膜的材料源。

蒸发材料广泛应用于电真空、光学、集成电路、无线电、原子能、装饰等领域。

 
材料种类
 

金、金合金;

银、银合金;

铂、铂合金;

钛;

镍;

铝;

铬;

一氧化钛;氧化镁、氧化锌、氧化镍、氧化铜;

二氧化铪、二氧化锆、二氧化钛、二氧化硅、氧化铈;

氧化钨;

氧化钇、氧化钆、氧化钐、氧化钕、氧化铋、氧化锑、氧化铬、三氧化二铁、三氧化二钛、三氧化二铝;

五氧化二钽、五氧化二铌、五氧化二钒;

五氧化三钛;

氧化谱;

钛酸钡、钛酸锶、钛酸谱、二钛酸谱、钛酸镧;

氟化镱、氟化镧、氟化钇、氟化铒、氟化钐、氟化镝、氟化钕、氟化铈、氟化镁、氟化钡、氟化锶、氟化钙、氟化钾、氟化钠;

冰晶石;

硫化锌、硫化镉;

钼片、钽片、钨丝等。

 
蒸发材料技术要求
 

成份:根据客户要求;

材料纯度:根据客户要求;

形状尺寸:根据客户要求。

 
 
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